Исследователи из Петербургского политехнического университета Петра Великого разработали комплексные технологии для производства наноструктур микроэлектронного оборудования.
Этот комплекс состоит из двух основных частей. Первая часть необходима для безмасочной нанолитографии, вторая часть – для плазмохимического травления кремния.
Инновационное оборудование первой части позволяет заменить иностранные аналоги и существенно снизить затраты на производственный процесс. А оборудование второй части имеет ряд преимуществ перед существующими аналогами благодаря созданию более надежных и чувствительных мембран.
Более того, срок службы наноструктур увеличивается в 20 раз. Министерство науки и высшего образования РФ отметило, что использование комплекса позволит стране приобрести технологическую независимость в области микроэлектроники.
Оценочная стоимость российского оборудования составляет 5 млн рублей, в то время как иностранные аналоги оцениваются в 10-13 млрд рублей, сообщает РИА Новости.
Ранее МедиаПоток писал, что созданный в МГМУ имени Сеченова прибор позволит избежать повреждения нерва при лечении кариеса.
